Awọn sensecton titẹ ti o wọpọ ti lo nlo n-Iru Silocon Silicon Walf bi sobusitireti. Ni ibere, awọn silicon walfere ni a ṣe sinu apakan-nsan apakan kikan pẹlu geometry kan. Ni apakan ti o ni wahala ti silicon wafer, awọn aṣoju kaakiri pà mẹrin ni a ṣe awọn itọnisọna gractaction, ati lẹhinna alikako alikama alikalstone ni a ṣẹda pẹlu awọn alatako mẹrin wọnyi. Labẹ iṣẹ ti itagbangba ita, awọn ayipada ti awọn iye resistance di ami itanna. Afara afekassone pẹlu ipa titẹ ni okan sensọ titẹ ti o wa ni a maa n pe ni afara piezoressitive (bi o ti han ninu Nọmba 1). Awọn abuda ti afara piezoristive jẹ bi atẹle: ① awọn iye resistance ti awọn ọwọ mẹrin ti Afara jẹ dogba (gbogbo r0); ② ipa piezoressistive ti awọn ohun ti o wa nitosi ti Afara jẹ dogba ni iye ati idakeji ni ami; ③ Agbarapọ otutu lodi si awọn ọwọ mẹrin ti Afara jẹ kanna, ati pe wọn nigbagbogbo wa ni iwọn otutu kanna. Ni ọpọtọ. 1, R0 jẹ idiyele atako laisi wahala ni iwọn otutu yara; Rt ni iyipada ti o fa nipasẹ ibori iwọn otutu ti resistance (α) nigbati iwọn otutu ba yipada; Υ R3 ni iyipada ti resistance ti o ṣẹlẹ nipasẹ igara (ε); Lati ṣẹda Afara jẹ u = i0 Δ δ R3 = i0rgδ (Afara / orisun orisun lọwọlọwọ).

Nibiti i0 jẹ orisun lọwọlọwọ ati e jẹ folti folti nigbagbogbo. Lati ṣẹda alaye alaye ti Piezoressistive jẹ deede to taara si igara (ε) ati pe o ko ni nkankan lati ṣe pẹlu iwọn otutu ti o fa ti sensọ. Titarigi titẹ ti a lo pupọ julọ ti senmitorctor titẹ jẹ sensọ fun wiwa titẹ itooro. Eto akọkọ rẹ jẹ kapusulu ti a ṣe ti sikon Monocrystalline (bi o ti han ninu Nọmba 2). Diaphragm ni a ṣe sinu ago kan, ati isalẹ ago jẹ apakan ti o ru agbara ita, ati Afara titẹ ni a ṣe lori isalẹ ife naa. Awọn ohun elo oruka ohun elo siliki kanna, ati lẹhinna diaphragm jẹ adehun si ọna atẹgun. Iru sensọ ti o fẹ ni awọn anfani ti ifamọra giga, iwọn kekere ati ati rirọ, ati pe lilọ kiri ni alaworan, awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun ati awọn ohun elo iṣoogun.