Awọn sensọ titẹ semikondokito le pin si awọn ẹka meji, ọkan da lori ipilẹ pe awọn abuda I-υ ti semiconductor PN junction (tabi schottky junction) yipada labẹ wahala.Iṣe ti nkan ifarabalẹ titẹ jẹ riru pupọ ati pe ko ti ni idagbasoke pupọ.Omiiran ni sensọ ti o da lori ipa piezoresistive semikondokito, eyiti o jẹ oriṣi akọkọ ti sensọ titẹ semikondokito.Ni awọn ọjọ ibẹrẹ, awọn wiwọn igara semikondokito julọ ni asopọ si awọn eroja rirọ lati ṣe ọpọlọpọ wahala ati awọn ohun elo wiwọn igara.Ni awọn ọdun 1960, pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ iyika iṣọpọ semikondokito, sensọ titẹ semikondokito kan pẹlu olutako kaakiri bi eroja piezoresistive han.Iru sensọ titẹ yii ni ọna ti o rọrun ati igbẹkẹle, ko si awọn ẹya gbigbe ojulumo, ati ipin ifura titẹ ati ipin rirọ ti sensọ ti wa ni iṣọpọ, eyiti o yago fun aisun ẹrọ ati irako ati ilọsiwaju iṣẹ sensọ naa.

Ipa Piezoresistive ti semikondokito Semiconductor ni ihuwasi ti o ni ibatan si agbara ita, iyẹn ni, resistivity (ti o jẹ aṣoju nipasẹ aami ρ) yipada pẹlu aapọn ti o jẹri, eyiti a pe ni ipa piezoresistive.Iyipada ojulumo ti resistivity labẹ iṣe ti wahala ẹyọkan ni a pe ni olùsọdipúpọ piezoresistive, eyiti o jẹ afihan nipasẹ aami π.Ti ṣe afihan ni mathematiki bi ρ/ρ = π σ.

Nibiti σ ṣe aṣoju wahala.Iyipada ti iye resistance (R / R) ti o ṣẹlẹ nipasẹ resistance semikondokito labẹ aapọn jẹ ipinnu nipataki nipasẹ iyipada resistivity, nitorinaa ikosile ti ipa piezoresistive tun le kọ bi R / R = πσ.

Labẹ iṣẹ ti agbara ita, aapọn kan (σ) ati igara (ε) ti wa ni ipilẹṣẹ ni awọn kirisita semikondokito, ati pe ibatan laarin wọn jẹ ipinnu nipasẹ modulus Young (Y) ti ohun elo, iyẹn, Y=σ/ε.

Ti ipa piezoresistive ba han nipasẹ igara lori semikondokito, o jẹ R/R=Gε.

G ni a pe ni ifosiwewe ifamọ ti sensọ titẹ, eyiti o duro fun iyipada ibatan ti iye resistance labẹ igara ẹyọkan.

Olusọdipúpọ Piezoresistive tabi ifosiwewe ifamọ jẹ paramita ti ara ipilẹ ti ipa piezoresistive semikondokito.Ibasepo laarin wọn, gẹgẹ bi ibatan laarin wahala ati igara, jẹ ipinnu nipasẹ modulus ọdọ ti ohun elo, iyẹn g = π y.

Nitori anisotropy ti awọn kirisita semikondokito ni rirọ, modulus ọdọ ati iyipada piezoresistive olùsọdipúpọ pẹlu iṣalaye gara.Titobi ipa piezoresistive semikondokito tun jẹ ibatan pẹkipẹki si resistivity ti semikondokito.Isalẹ awọn resistivity, awọn kere ifamọ ifosiwewe.Ipa piezoresistive ti resistance itankale jẹ ipinnu nipasẹ iṣalaye gara ati ifọkansi aimọ ti resistance itankale.Idojukọ aimọ ni pataki tọka si ifọkansi aimọ dada ti Layer kaakiri.