Wulo lati Passat idana wọpọ iṣinipopada titẹ sensọ 06E906051K

1. Ọna kan fun ṣiṣẹda sensọ titẹ, ti o ni:

Pese sobusitireti semikondokito kan, ninu eyiti Layer interlayer dielectric akọkọ, Layer dielectric interlayer akọkọ ati Layer interlayer dielectric Layer keji ti wa ni akoso lori sobusitireti semikondokito.

A kekere elekiturodu awo ni akọkọ interlayer dielectric Layer, a akọkọ pelu owo elekiturodu be lori kanna Layer bi isalẹ elekiturodu awo ati alafo yato si.

Nsopọ awọn fẹlẹfẹlẹ;

Dida kan irubo Layer loke awọn kekere pola awo;

Ṣiṣẹda awo elekiturodu oke lori Layer dielectric interlayer akọkọ, Layer interconnection akọkọ ati Layer irubọ;

Lẹhin ti o ṣẹda Layer irubo ati ṣaaju ki o to dagba awo oke, ni akọkọ interconnection Layer

Ṣiṣẹda ọna asopọ kan, ati kikun ọna asopọ pẹlu awo oke lati sopọ pẹlu itanna akọkọ pẹlu Layer interconnection akọkọ;Tabi,

Lẹhin ti o ṣe awo elekiturodu oke, awọn ọna asopọ ti wa ni akoso ninu awo elekiturodu oke ati Layer interconnection akọkọ, eyiti

Ṣiṣẹda kan conductive Layer pọ awọn oke elekiturodu awo ati awọn igba akọkọ ti interconnection Layer ninu awọn yara asopọ;

Lẹhin ti itanna pọ awo oke ati akọkọ interconnection Layer, yọ awọn irubo Layer lati fẹlẹfẹlẹ kan ti iho.

2. Ọna fun ṣiṣẹda sensọ titẹ ni ibamu si ẹtọ 1, ninu eyiti o wa ni ipele akọkọ

Ọna fun dida Layer irubo lori Layer dielectric interlayer ni awọn igbesẹ wọnyi:

Idogo ohun elo irubo Layer lori akọkọ interlayer dielectric Layer;

Pattering Layer ohun elo irubo lati ṣe fẹlẹfẹlẹ kan ti irubo.

3. Ọna fun ṣiṣẹda sensọ titẹ ni ibamu si ẹtọ 2, ninu eyiti a ti lo fọtolithography ati fifin.

Layer ohun elo irubo jẹ apẹrẹ nipasẹ ilana etching.

4. Awọn ọna fun lara kan titẹ sensọ ni ibamu si nipe 3, ninu eyiti awọn irubo Layer

Ohun elo naa jẹ erogba amorphous tabi germanium.

5. Awọn ọna fun lara kan titẹ sensọ ni ibamu si nipe 4, ninu eyiti awọn irubo Layer

Awọn ohun elo jẹ erogba amorphous;

Etching ategun lo ninu awọn ilana ti etching awọn irubo Layer Layer pẹlu O2, CO, N2 ati Ar;

Awọn paramita ninu ilana ti etching Layer ohun elo irubo ni: iwọn sisan ti O2 jẹ 18 SCCM ~ 22 SCCM, ati iwọn sisan ti CO jẹ 10%.

Oṣuwọn sisan lati 90 SCCM si 110 SCCM, awọn iwọn sisan ti N2 awọn sakani lati 90 SCCM si 110 SCCM, ati awọn sisan oṣuwọn ti Ar.

Iwọn naa jẹ 90 SCCM ~ 110 SCCM, iwọn titẹ jẹ 90 mtor ~ 110 mtor, ati agbara abosi jẹ

540w ~ 660w.