Wulo lati pastatat epo ti o wa ni sensọ ti o wa ti o jẹ sensọ 06e906051k

1. Ọna kan fun dida sensọ titẹ

Pese sobusitireti Seresstanctor, eyiti o jẹ awọ ọfẹ ọfẹ ọfẹ kan akọkọ, akọkọ diallayecric Layer ati awọ ara alakankọ ara alabaṣepọ tuntun ni a ṣẹda lori sobusitireti semimitorate.

Alufẹpọ electrode ni akọkọ dielectier dialecriki akọkọ, imọ-ọwọ akọkọ wa lori Layer kanna bi awo itanna isalẹ ati aye ya sọtọ.

Awọn fẹlẹfẹlẹ pọ;

Daba ori ajẹsẹ loke ori pola kekere;

Fifi itọsi awopọ ti oke lori Layer Libecerric akọkọ, Layer Intercconnection akọkọ ati Layer Decloration;

Lẹhin ti o ba ti fẹlẹfẹlẹ irubo ati ṣaaju dida awo oke, ni Layet Intercynection akọkọ

Fifi ọna asopọ asopọ kan, ati fere kan yara asopọ pẹlu awo oke lati sopọ mọ pẹlu awọ mecconnection akọkọ; Tabi,

Lẹhin ti o ba ṣe awo awo itanna ti oke, ti sopọ awọn grooves ti wa ni akoso ni awo itanna ti oke ati awọ intercynection akọkọ, eyiti

Fifipa Ajumọṣe Nsopọ awopọ ti oke ati awọ inu itanna akọkọ ninu yara isopọ;

Lẹhin itanna yiyan awo ti oke ati ideri intercynection akọkọ, yọ ori-omi ti o rubọ lati fẹlẹfẹlẹ kan.

2. Ọna fun dida sensọ titẹ ni ibamu si ẹtọ 1, eyiti o wa ni ipele akọkọ

Ọna fun dida awọn irubo ori lori ila-interlayer LatectLeer Layer ninu awọn atẹle wọnyi:

Ifipamọ Layer Ohun elo Ipasẹ lori Layer Libecerrican akọkọ;

Ipara ti iru-ṣiṣe ti o rubọ lati fẹlẹfẹlẹ kan ti a fifin.

3. Ọna fun mimu sensọ titẹ ni gẹgẹ bi ibeere 2, eyiti a ti lo fọtoyiya.

A ti ṣe agbekalẹ awọ ara rẹ nipasẹ ilana etching.

1.

Ohun elo naa jẹ erogba oloro tabi germanum.

5

Ohun elo naa jẹ aṣọ-ẹran alailẹgbẹ;

Awọn ategun etching ti a lo ninu ilana ti etching awọn ara ohun elo irubo ara pẹlu O2, Co, n2 ati Ari;

Awọn aye ti o wa ni ilana ti etching awọn ohun elo ohun elo irubọ jẹ: ibiti ṣiṣan ṣiṣan ti O2 jẹ 18 Sccm ~ SCCM 13, ati oṣuwọn sisan ti CO jẹ 10%.

Awọn oṣuwọn sisan-omi lati 90 SCCM si 110 SCCM, oṣuwọn ṣiṣan ti N2 Ranges lati 90 SCCM si 110 SCCM, ati oṣuwọn sisan ti AR.

Iwọn naa jẹ 90 SCCM ~ 110 SCCM, iwọn titẹ jẹ 90 MTOR ~ 110 MTOR, ati agbara ikorira naa ni

540W ~ 660W.