Engine titẹ sensọ 2cp3-68 1946725 fun extovator Carter

Ọna kan fun ngbaradi sensọ ipa kan, ti ko ni imúró awọn atẹle wọnyi:

S1, ipese wafer pẹlu aaye ẹhin ati dada iwaju; Daba Iwọn Piezonsistive ati agbegbe olubasọrọ ti o nira ti o wuwo lori oju wafò-walf; Ti ṣẹda titẹ ti o jinlẹ nipasẹ etching awọn iwe afọwọkọ ti wafer;

S2, Ifilọsin iwe atilẹyin lori ẹhin Wafer;

S3, iṣelọpọ awọn iho ati awọn okun irin ni iwaju iwaju wafer, ati awọn ila piezoressistive lati ṣe Afara alikastone;

S4, fifipamọ ati Pin Lapor Layer ni iwaju iwaju, ati ṣiṣi apakan ti Layer Parlivation lati fẹlẹfẹlẹ agbegbe paadi irin kan. 2. Ọna iṣelọpọ ti sensọ titẹ titẹ ni ibamu si ẹtọ 1, eyiti o jẹ ninu aaye ti o tẹle: ati tumọ si sisanra ti fiimu ti o ni agbara lori wafer; S12: A lo ijuwe ti ION lori iwaju wafer, awọn ila piezorosistive ni iṣelọpọ nipasẹ ilana itan-otutu giga, ati awọn ẹkun ilu ni o dara julọ; S13: Gbigbe ati fẹlẹfẹlẹ kan ti o wa ni aabo kan ni iwaju wafán ti wafer; S14: etching ati lara titẹ ti o jinlẹ lori ẹhin wafer lati fẹlẹfẹlẹ fiimu ifura titẹ. 3. Ọna iṣelọpọ ti sensọ titẹ titẹ ni ibamu si ẹtọ 1, eyiti o wafer jẹ kii.

Ni ọdun 1962, tafte et al. Ṣelọpọ sensọ titẹ piezoristive pẹlu yalicon pielic pieli piezoresive awọn ila ati be be lolikoni Fidio fun igba akọkọ, ati bẹrẹ iwadii lori sensọ titẹ piezoressistive. Ni awọn pẹ ọdun 1960 ati awọn ibẹrẹ ọdun 1970, hihan ti awọn imọ-ẹrọ mẹta, eyun, imọ-ẹrọ ifọsi okun, ti o ṣe ipa nla ninu imudarasi iṣẹ sensọ ti o wa. Lati ọdun 1980, pẹlu ilọsiwaju siwaju ti imọ-ẹrọ micromactining, gẹgẹ bi arasotropic etching, idapọmọra ti sensọ titẹ titẹ, ifasimu ti o dara julọ, ati iṣelọpọ ti o ga julọ ati iṣẹ naa dara julọ. Ni akoko kanna, idagbasoke ati ohun elo ti ẹrọ micromachinning tuntun jẹ ki sisanra fiimu ti sensọ titẹ ni iṣakoso deede.