Engine titẹ sensọ 2CP3-68 1946725 fun Carter excavator

Ọna kan fun igbaradi sensọ titẹ kan, ti a ṣe pẹlu pẹlu awọn igbesẹ wọnyi:

S1, pese wafer pẹlu oju ẹhin ati oju iwaju; Dida rinhoho piezoresistive ati agbegbe olubasọrọ doped ti o wuwo lori oju iwaju ti wafer; Ṣiṣẹda a titẹ jin iho nipa etching awọn pada dada ti awọn wafer;

S2, imora a support dì lori pada ti awọn wafer;

S3, awọn ihò asiwaju iṣelọpọ ati awọn okun irin ni ẹgbẹ iwaju ti wafer, ati sisopọ awọn ila piezoresistive lati ṣe afara Wheatstone;

S4, fifipamọ ati ṣiṣẹda Layer passivation lori oju iwaju ti wafer, ati ṣiṣi apakan ti Layer passivation lati ṣe agbegbe paadi irin kan. 2. Ọna iṣelọpọ ti sensọ titẹ ni ibamu si ẹtọ 1, ninu eyiti S1 pataki ni awọn igbesẹ wọnyi: S11: pese wafer pẹlu oju ẹhin ati oju iwaju, ati asọye sisanra ti fiimu ifura titẹ lori wafer; S12: ion gbin ni a lo lori oju iwaju ti wafer, awọn ila piezoresistive ti wa ni ṣelọpọ nipasẹ ilana itọka iwọn otutu ti o ga, ati awọn agbegbe olubasọrọ ti wa ni doped darale; S13: fifipamọ ati ṣiṣe ipilẹ aabo lori oju iwaju ti wafer; S14: etching ati lara a titẹ jin iho lori pada ti awọn wafer lati fẹlẹfẹlẹ kan ti titẹ kókó fiimu. 3. Ọna iṣelọpọ ti sensọ titẹ ni ibamu si ẹtọ 1, ninu eyiti wafer jẹ SOI.

Ni ọdun 1962, Tufte et al. ṣelọpọ sensọ titẹ piezoresistive pẹlu awọn ila piezoresistive silikoni ti o tan kaakiri ati eto fiimu ohun alumọni fun igba akọkọ, o si bẹrẹ iwadii lori sensọ titẹ piezoresistive. Ni opin awọn ọdun 1960 ati ibẹrẹ 1970, ifarahan ti awọn imọ-ẹrọ mẹta, eyun, silikoni anisotropic etching technology, ion implantation technology and anodic bonding technology, mu awọn ayipada nla wa si sensọ titẹ, eyiti o ṣe ipa pataki ninu imudarasi iṣẹ ti sensọ titẹ. . Lati awọn ọdun 1980, pẹlu idagbasoke siwaju sii ti imọ-ẹrọ micromachining, gẹgẹbi etching anisotropic, lithography, doping diffusion, ion implantation, imora ati bo, iwọn sensọ titẹ ti dinku nigbagbogbo, ifamọ ti ni ilọsiwaju, ati pe abajade jẹ giga ati awọn iṣẹ jẹ o tayọ. Ni akoko kanna, idagbasoke ati ohun elo ti imọ-ẹrọ micromachining tuntun jẹ ki sisanra fiimu ti sensọ titẹ ni iṣakoso ni deede.