Dara fun Hitachi KM11 sensọ titẹ epo EX200-2-3-5

Awọn imọ-ẹrọ titẹ mẹrin ti sensọ titẹ

1. Capacitive

Awọn sensọ titẹ agbara agbara nigbagbogbo ni ojurere nipasẹ nọmba nla ti awọn ohun elo ọjọgbọn OEM. Ṣiṣawari awọn iyipada agbara laarin awọn ipele meji jẹ ki awọn sensọ wọnyi ni imọlara titẹ kekere pupọ ati awọn ipele igbale. Ninu iṣeto sensọ aṣoju wa, ile iwapọ kan ni awọn aaye meji ti o wa ni isunmọ, ni afiwe ati awọn irin ti o ya sọtọ itanna, ọkan ninu eyiti o jẹ pataki diaphragm ti o le tẹ diẹ labẹ titẹ. Awọn ipele ti o wa titi wọnyi (tabi awọn apẹrẹ) ti wa ni gbigbe ki atunse ti apejọ naa yi aafo laarin wọn (gangan ti o ṣẹda kapasito oniyipada). Iyipada ti o jajade ni a rii nipasẹ Circuit comparator laini ifarabalẹ pẹlu (tabi ASIC), eyiti o pọ si ati ṣejade ifihan agbara ipele-giga iwọn.

2.CVD iru

Iṣagbejade oru kẹmika (tabi “CVD”) ọna iṣelọpọ ọna asopọ pọ polysilicon Layer si diaphragm irin alagbara ni ipele molikula, nitorinaa o nmu sensọ pẹlu iṣẹ fiseete igba pipẹ to dara julọ. Awọn ọna iṣelọpọ semikondokito ipele ti o wọpọ ni a lo lati ṣẹda awọn afara iwọn igara polysilicon pẹlu iṣẹ ṣiṣe ti o dara julọ ni idiyele ti o ni oye pupọ. Eto CVD ni iṣẹ idiyele ti o dara julọ ati pe o jẹ sensọ olokiki julọ ni awọn ohun elo OEM.

3. Sputtering film iru

Ifilọlẹ fiimu sputtering (tabi “fiimu”) le ṣẹda sensọ kan pẹlu laini apapọ ti o pọju, hysteresis ati atunwi. Iṣe deede le jẹ giga bi 0.08% ti iwọn kikun, lakoko ti fiseete igba pipẹ jẹ kekere bi 0.06% ti iwọn kikun ni gbogbo ọdun. Iṣe alailẹgbẹ ti awọn ohun elo bọtini- sensọ fiimu tinrin sputtered wa jẹ ohun-iṣura ni ile-iṣẹ oye titẹ.

4.MMS iru

Awọn sensọ wọnyi lo ohun alumọni micro-machined (MMS) diaphragm lati ṣe awari awọn iyipada titẹ. Diaphragm silikoni ti ya sọtọ lati alabọde nipasẹ 316SS ti o kun fun epo, ati pe wọn ṣe ni lẹsẹsẹ pẹlu titẹ ito ilana. Sensọ MMS gba imọ-ẹrọ iṣelọpọ semikondokito ti o wọpọ, eyiti o le ṣaṣeyọri resistance foliteji giga, laini ti o dara, iṣẹ mọnamọna gbona ti o dara julọ ati iduroṣinṣin ninu package sensọ iwapọ.