Eto ti sensọ piezorestive

Ni sensọ yii, rinhoho Soro. Itọsi titẹ piezoristive, tun mọ bi sensọ titẹ-ipo ti o ni agbara, eyiti o nilo lati ni imọlara ita gbangba, ṣugbọn taara kankan ṣe iwọn titẹ wiwọn nipasẹ ohun alumọni silicogm.

Ẹgbẹ kan ti silikoni siliki ti jẹ iho iho giga jẹ i cavity-ti ipa giga pẹlu titẹ wiwọn, ati apa keji jẹ ifasilẹ kekere-kekere n sọrọ pẹlu afẹfẹ. Ni gbogbogbo, a ṣe awọ ojiji siliki bi Circle kan ti o wa titi, ati ipin iwọn ila-ilẹ ati awọn meji stupressipm lori agbegbe aapọn ti ara, eyiti o jẹ iyasọtọ pẹlu ọwọ si aarin diaphragm.

Ni afikun, a tun wa squalion sililini siliki ati ohun alumọni silicon. Sensọ ohun alumọni cylindrical sensọ ti o pọ si tun ṣe awọn ila rerosi nipa itankale ninu ọkọ ofurufu kan ti siliki kan silinda ati meji expressive idalẹnu aapọn ṣe afi afara ni kikun.

Sensọ piezoresistive jẹ ẹrọ ti o ṣe nipasẹ resistance kaakiri lori sobusitireti ti ohun elo emicolonctor ohun elo ni ibamu si ipa piezoressistive ti ohun elo semicolove. Sobusitireti rẹ le ṣee lo taara bi sensọ wiwọn kan, ati resistance itọkasi ti sopọ ni sobusitireti ni awọn afara.

Nigbati a ba jẹ sobusitireti ni idiwọn nipasẹ ipa ita, awọn iye resistance yoo yipada ati Afara yoo ṣe agbejade iṣedede ti o baamu. Awọn sobusitireti (tabi awọn diaphragragms) ti a lo bi awọn sensọ piizoristive jẹ awọn waro silikoni nipataki awọn wafers ati awọn wafers Germanum. Awọn sensicon piicon pielice ti a ṣe ti awọn ohun alumọni silikoni ti o ni ifamọra siwaju ati siwaju sii akiyesi, paapaa akiyesi piezoressitive to lagbara fun wiwọn titẹ ati iyara jẹ lilo pupọ julọ.