Eto sensọ Piezoresistive

Ninu sensọ yii, adifasi ohun alumọni monocrystalline ti diaphragm nipasẹ ilana isọpọ lati ṣe chirún piezoresistive silikoni, ati ẹba ti chirún yii ti wa ni akopọ ni ikarahun naa, ati awọn itọsọna elekiturodu jade. Sensọ titẹ Piezoresistive, ti a tun mọ ni sensọ titẹ agbara-ipinle, yatọ si wiwọn igara alemora, eyiti o nilo lati rilara agbara ita ni aiṣe-taara nipasẹ awọn eroja ifura rirọ, ṣugbọn taara ni rilara titẹ wiwọn nipasẹ diaphragm silikoni.

Apa kan ti diaphragm silikoni jẹ iho titẹ giga ti o n ba ibaraẹnisọrọ pẹlu titẹ wiwọn, ati apa keji jẹ iho titẹ kekere ti o n ba afẹfẹ sọrọ. Ni gbogbogbo, diaphragm silikoni ti ṣe apẹrẹ bi iyika pẹlu ẹba ti o wa titi, ati ipin ti iwọn ila opin si sisanra jẹ nipa 20 ~ 60. Awọn ila resistance aimọ mẹrin P ti wa ni kaakiri ni agbegbe lori diaphragm ohun alumọni ipin ati ti sopọ sinu afara kikun, meji ninu eyiti wa ni agbegbe aapọn compressive ati awọn meji miiran wa ni agbegbe aapọn fifẹ, eyiti o jẹ alamọra pẹlu ọwọ si aarin diaphragm.

Ni afikun, diaphragm ohun alumọni onigun mẹrin tun wa ati sensọ ọwọn ohun alumọni. Sensọ ohun alumọni ohun alumọni tun jẹ ti awọn ila resistive nipasẹ itankale ni itọsọna kan ti ọkọ ofurufu gara ti silinda silinda, ati awọn ila aapọn aapọn meji ati awọn ila aapọn aapọn meji ṣe afara ni kikun.

Sensọ Piezoresistive jẹ ẹrọ ti a ṣe nipasẹ atako kaakiri lori sobusitireti ti ohun elo semikondokito ni ibamu si ipa piezoresistive ti ohun elo semikondokito. Sobusitireti rẹ le ṣee lo taara bi sensọ wiwọn, ati pe atako kaakiri ti sopọ ni sobusitireti ni irisi afara.

Nigbati sobusitireti ba jẹ ibajẹ nipasẹ agbara ita, awọn iye resistance yoo yipada ati pe afara naa yoo gbejade iṣelọpọ ti ko ni iwọntunwọnsi. Awọn sobusitireti (tabi awọn diaphragms) ti a lo bi awọn sensọ piezoresistive jẹ pataki wafers silikoni ati awọn wafers germanium. Awọn sensọ piezoresistive Silicon ti a ṣe ti awọn ohun alumọni ohun alumọni bi awọn ohun elo ifura ti fa akiyesi diẹ sii ati siwaju sii, ni pataki awọn sensọ piezoresistive ipinle ti o lagbara fun wiwọn titẹ ati iyara jẹ lilo pupọ julọ.